مقدمه: پراش الکترونی از الکترونهای برگشتی(EBSD) روشی است که برای بدست آوردناطلاعات کریستالوگرافیک از یک نمونه در میکروسکوپ SEM است.در این راهنما سعی شدهاست که مفید بودن این تکنیک و مکانیسم آن توضیح داده شود. مواد کریستالی و ریزساختار آنها: مواد شناختهشده مانند فلزات، مواد معدنی و سرامیکها جزء مواد کریستالی هستند. در مواد کریستالیاتمها که تشکیل دهنده ماده هستند، در فضا به صورت متناوب تکرار می شوند. به شبکه3 بعدی از نقاط که اتمها در این نقاط قرار گرفته اند، شبکه کریستالی می گویند. البته مشخص است که اندازه اتمها و فاصله بین گروههای تکرار شونده اتمها بسیار کوچکاست. برای مثال در فلز آلومینیوم، اتمها در گوشه ها و وجوه یک مکعب قرار گرفته اند. هر ضلع مکعب طولی برابر 0.405 نانومتر (هر نانومتر برابر ۹-۱۰ متر است) دارد. در مقیاس اتمی ساختار کربستالی مواد بسیار منظم و با قاعده است. برخی اوقاتاتمها می توانند تشکیل تک کربستال ایی را می دهند که حتی در مقیاس میلیمتری دارایساختار یکنواخت می باشند. همه ما شکل ظاهری کریستالهای طبیعی معدنی مانند کوارتز رامی شناسیم. در این موارد شکل و تقارن کربستال نشان دهنده وجود نظم و قاعده درساختار اتمی است. همچنین تک کریستالها را می توان به روشهایی ساخت. برای نمونه،قرصهای سیلیکونی تک کریستال مورد استفاده در صنایع میکروالکترونیک را می توان نامبرد که دارای پهنهایی تا 30 میلیمتری هستند. سلول واحد آلومینیوم. اتمها در گوشه ها و مرکز وجوه مکعبقرار گرفته اند سلول واحد آلومینا شامل اتمهای آلومینیوم (قرمز) واکسیژن (سبز)     مواد معمولا تجمعی از دانه های تک کریستال هستند   ساختار کربستالی قابل مشاهده در یک قطعه ریختگی به هر حال ساختار کربستالی فقط در فواصل کوتاه یکنواخت است. معمولا مواد متشکلاز توده ای از دانه های تک کربستال هستند. برخی مواد به نام پلی کریستال معروفهستند که اندازه دانه ها می تواند از چند نانومتر تا دانه هایی که به چشم غیر مسلحقابل دیدن باشند، متغیر باشد. حتی در تک کریستال ها هم دانه ها دارای شبکه کامل وبدون نقص نیستند و می توانند دارای نقایصی باشند که اثر قابل توجهی بر رفتار مواددارند. ریزساختار یک ماده وابسته به اجتماعی از دانه ها با یکدیگر به همراه دیگراجزای میکروسکوپی از قبیل حفرات و آخال ها می باشد. مواد مهندسی از قبیل فولادها وآلومینیوم مواد پلی کربستال بوده و درنتیجه استفاده از روشهایی که بتوان ساختار اینمواد را به صورت کامل و با آنالیز کرد، ضروری است. از نقطه نظر EBSD دو فاکتور مهمدر مواد پلی کریستال وجود دارد که در آنالیز کردن این مواد کاربرد دارد. نخست اینکهدر مواد پلی کریستال، کریستالها در دانه های مختلف دارای جهت گیری (Orientation) متفاوت هستند. یعنی اینکه لبه های شبکه کریستالی در دانه های مختلف دارای جهت گیریمتفاوت هستند.در این باره بیشتر توضیح خواهد داده شد. دوم اینکه مواد پلی کربستالشامل مناطقی هستند که دانه های مختلف همدیگر را ملاقات می کنند، که به این نواحیمرزدانه می گوبند.